产品用途： 该机主要用于硅片、硬盘基片、光盘母盘、陶瓷片及其它硬脆材料的双面高精度研磨。 主要特点： 1.采用伺服电机同步拖动，变速范围更广，运动精度高，响应速度快。 2.采用触摸式平板电脑、嵌入式计算机控制，为用户提供开放式的图形操控界面；并设有四级密码保护（管理人员、维护人员、工艺人员、普通操作），方便了各层次人员的操作使用；具有接入以太网、远程调试、双机通讯等先进功能（可扩展）；可根据用户要求编制控制软件和操作界面。 3.工艺适应性： 拥有20套可编辑工艺,每套工艺可执行20步； 液泵（两路）、水泵状态在每步工艺中可编辑； 各电机运行速度及旋向在工艺中可单独编辑； 电机加速时间、加压斜率、目标压力在每步工艺中可编辑； 在每步工艺中可设置两个自定义外设状态； 4.太阳轮与内齿圈大行程(80mm)同步抬升，满足了宽范围取放工件及调整游轮啮合位置的要求。 5.压力采用电—气比例阀与拉力传感器闭环反馈控制，压力过程实现了线性转换，压力控制精度±2kg。 6.采用模块化设计理念：主传动在基本结构零件不变的前提下，可选配双电机、三电机、四电机；可灵活的选配普通异步电机、交流异步伺服电机；副减速箱（太阳轮、齿圈）可灵活的选配国产或进口件。 7.可安装可行走式地脚，方便了设备搬移（选配）。 主要技术参数： 1.研磨盘尺寸：φ1118mm×φ386mm×60mm（标配，可自定） 2.游轮参数： 公制：Z＝142M＝3α＝20° 英制：Z＝200DP＝12α＝20° 3.游轮数量：5片 4.*大研磨直径：φ350mm *小研磨厚度：0.30mm 5.下研磨盘转速:0～60rpm 6.上盘电机（选配）:7.5kW4极AC380V 7.下盘电机:15kW4极AC380V 8.太阳轮电机：1.5kW4极AC380V 9.齿圈电机：4kW4极AC380V 10.气源：0.5—0.6Mpa 11.外形尺寸：2324mm×1524mm×2995mm 12.重量：约8000Kg。