RSE902 干式真空泵输入电压:220-440 (V) 额定功率:7.45 (kw) *大吸力:-0.001 (mBar) *大流量:750 (m³/h) 进气口径:ISO100 排气口径:NW40 噪声等级:70 (Db) 产品重量:450 (kg) 产品尺寸:814*380*915 (mm)规格参数 性能曲线 外型尺寸
PS系列真空泵技术规格表
机型 单位 RSE602 RSE902 RSE1302 RSE1802
抽气速率(50Hz/60Hz) L/min 8300/10000 12500/15000 17500/21000 25000/30000
m3/h 500/600 750/900 1050/1260 1500/1800
cmf 294/353 441/530 618/742 883/1060
极限真空 Torr 7.5*10-4
mbar 1*10-3
Pa ≤0.1
马达 频率 Hz 50/60
电压 V 220~440
功率 Hp 4+4 6+4 6+6 6+6
kw 2.98+2.98 4.47+2.98 4.47+4.47 4.47+4.47
连接 进气 ISO100 ISO160
排气 NW40
冷却水 流量 L/min 3~7
压力 kg/cm2 2.0~4
温度 ºC 18~30
接头 RC3/8´´
氮气 压力 kg/cm2 0.5~1
稀释流量 L/min 0~60
密封流量 L/min 0~20
连接 Swagelok1/4´´
尺寸L*W*H mm3 814*380*915 895*410*943 920*430*957 920*430*1030
重量 kg 450 520 540 545
噪音 dB(A) <70
控制界面 SEMI E73-0299
真空泵*大漏率 mbar.l/s 1*10-5
室温操作范围 ºC 5 ºC ~40 ºC
*大操作湿度 RH 90%
RSEXXX-YZV机型分类
型号 机种 - 机型 外罩 控制器 氮氧加热器 镀层 变频器
(RSE) (XXX) (-) (Y) (Z) (V)
RSE 602
902
1302
1802 - S D
N
H 1
2
N ⊕
A ⊕ ⊕
H ⊕ ⊕ ⊕
代码说明:
Z(镀层):D,N,H
代码 镀层 制程运用
干净制程 腐蚀制程 粉尘制程 粘黏制程
D Defric ⊕
N Ni ⊕ ⊕
H Ni-Teflon ⊕ ⊕ ⊕ ⊕
V(变频器):1,2
1:助力泵加装变频器 2:肋力泵、螺旋泵加装变频器
例:RSE602-AD1:代表RSE602机种含外罩、控制器、Defric镀层及变频器
适用解说:
1、控制器为微电脑控制系统,让使用者轻松操作、监控及保护泵浦。
2、整合性氮氧加热系统能有效防止制程物沉积附着,以提升运转品质及寿命。
3、针对各种特殊应用,可提供客户相对应之特殊涂层,以达到*佳保护效果。
4、可因应缩短制程及节能要求,选购加装变频器。
抽气性能曲线图:
干式真空泵外型尺寸图:
Dimensions(mm) A B C D E G H K L M
RSE602 375 320 550 185 652 923 773 668 105 224
RSE902 405 350 565 213 723 1006 807 645 105 201
RSE1302 425 350 537 223 740 1031 822 627 73 184
RSE1802 425 350 537 223 760 1121 822 627 73 184
Dimensions(mm) A B C D E G H K L M
RSE602 380 915 802 190 652 814 773 668 105 224
RSE902 410 943 832 218 723 895 807 645 105 201
RSE1302 430 957 845 228 740 920 822 627 73 184
RSE1802 430 1030 845 228 760 920 822 627 73 184